步进投影光刻机
- 申请号：CN201430305498.3
- 专利类型：外观设计
- 申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN303108010S
- 公开(公开)日：2015.02.18
- 法律状态：
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专利详情
| 专利名称 | 步进投影光刻机 | ||
| 申请号 | CN201430305498.3 | 专利类型 | 外观设计 |
| 公开（公告）号 | CN303108010S | 公开（授权）日 | 2015.02.18 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 蒋薇;王楠;胡松 |
| 主分类号 | 15-09(9) | IPC主分类号 | 15-09(9) |
| 专利有效期 | 步进投影光刻机 至步进投影光刻机 | 法律状态 | |
| 说明书摘要 | 1．本外观设计产品的名称：步进投影光刻机。2．本外观设计产品的用途：本外观设计产品用于集成电路、半导体元器件、光电子器件的研发和制造。3．本外观设计产品的设计要点：为产品整体形状。4．最能表明本外观设计设计要点的图片或照片：主视图。5．请求保护的外观设计包含色彩。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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05
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平台保障
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