专利详情

专利名称	平面型薄膜热电器件的制作方法和制作装置
申请号	CN201310337434.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104347790A	公开（授权）日	2015.02.11
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	王汉夫;官爱强;褚卫国
主分类号	H01L35/34(2006.01)I	IPC主分类号	H01L35/34(2006.01)I
专利有效期	平面型薄膜热电器件的制作方法和制作装置至平面型薄膜热电器件的制作方法和制作装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种平面型薄膜热电器件的制作方法和制作装置，该方法包括：步骤一：制作镂空掩模板（7、8、9），该镂空掩模板的镂空图案用于限定薄膜热电器件的至少部分图案，将衬底（1）固定在衬底托（6）上；步骤二：在衬底托和镂空掩模板上分别形成位置相对的至少一套定位孔（10），每套定位孔中包括至少三个定位孔，通过在定位孔上放置定位滚珠（11）以将镂空掩模板间隔地定位安装在衬底托上；步骤三：将衬底托和镂空掩模板装夹固定，利用物理气相沉积技术并透过镂空掩模板在衬底上完成该镂空掩模板的镂空图案的沉积制作。热电器件的图形由多块镂空掩模板实现，高效且方便，利用了滚珠定位方式以完成精确定位，便于操作且提升效率。