专利详情

专利名称	一种保护石墨烯薄膜蚀刻和转移的装置
申请号	CN201420646221.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204155906U	公开（授权）日	2015.02.11
申请（专利权）人	重庆墨希科技有限公司;中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	钟达;史浩飞;崔华亭;李占成;谭其良
主分类号	H01L21/02(2006.01)I	IPC主分类号	H01L21/02(2006.01)I;H01L21/687(2006.01)I
专利有效期	一种保护石墨烯薄膜蚀刻和转移的装置至一种保护石墨烯薄膜蚀刻和转移的装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型涉及石墨烯薄膜生产装置技术领域，尤其涉及一种保护石墨烯薄膜蚀刻和转移的装置，包括第一夹具和第二夹具，所述第一夹具为由第一夹具柱组成的方形框架结构，所述第二夹具为由四个第二夹具柱组成的方形框架结构，所述第一夹具的方形大小和所述第二夹具的方形大小相同，且所述第一夹具设置在所述第二夹具的上方，所述第一夹具和所述第二夹具通过活动卡扣连接，所述第一夹具和所述第二夹具之间设有夹具间隙。本实用新型的有益效果是：采用第一夹具和第二夹具组成的转移装置，在对石墨烯片进行刻蚀前对其进行夹持，不仅能方便对石墨烯片的转移，并且能对石墨烯片在刻蚀时进行保护，避免石墨烯片触及刻蚀液槽底部导致石墨烯薄膜的损伤。