专利详情

专利名称	硅基光调制器
申请号	CN201420660354.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204155033U	公开（授权）日	2015.02.11
申请（专利权）人	江苏尚飞光电科技有限公司;中科院南通光电工程中心;中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	汪敬;甘甫烷;盛振;武爱民;仇超;王曦;邹世昌
主分类号	G02F1/025(2006.01)I	IPC主分类号	G02F1/025(2006.01)I
专利有效期	硅基光调制器至硅基光调制器	法律状态
说明书摘要	本实用新型提供一种硅基光调制器，至少包括：脊型波导，包括平板部和位于所述平板部中间，且高于所述平板部的凸条；所述脊型波导中包括第一轻掺杂区和第二轻掺杂区，第一轻掺杂区包括形成在凸条中间，且沿着所述凸条的延伸方向的纵向第一轻掺杂区和至少一个形成在所述凸条和所述平板部上，且与所述凸条相交的横向第一轻掺杂区；第二轻掺杂区和第一轻掺杂区的掺杂类型相反，且形成于第一轻掺杂区外侧的凸条和平板部中，以与第一轻掺杂区构成横向和纵向的PN结。本实用新型的技术方案中提供的硅基光调制器利用多个横向第一轻掺杂区与第二轻掺杂区、纵向第一轻掺杂区与第二轻掺杂区形成PN结，可以增加模场中耗尽区的面积，从而提高硅基光调制器的调制效率。