一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜
- 申请号：CN201410614414.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院光电技术研究所
- 公开(公开)号：CN104330870A
- 公开(公开)日：2015.02.04
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜 | ||
| 申请号 | CN201410614414.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN104330870A | 公开（授权）日 | 2015.02.04 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院光电技术研究所 | 发明（设计）人 | 刘俊伯;程依光;司新春;邓钦元;周毅;高洪涛;胡松 |
| 主分类号 | G02B13/00(2006.01)I | IPC主分类号 | G02B13/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜 至一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明公开了一种用于光刻式三维打印机的高数值孔径成像物镜，该物镜采用了双远心结构，共10片镜片，工作波段为365nm±10nm。物镜光学物像共轭距为L＝350mm，其中物方工作距为85.2mm，像方工作距约为79.5mm。物方有效视场为20mm×20mm，物方数值孔径NA＝0.19，工作分辨力为σ＜100μm。 | ||
交易流程
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