专利详情

专利名称	一种掩模与基底六自由度对准装置
申请号	CN201410607056.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104331116A	公开（授权）日	2015.02.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	李金龙;胡松;赵立新
主分类号	G05G13/00(2006.01)I	IPC主分类号	G05G13/00(2006.01)I
专利有效期	一种掩模与基底六自由度对准装置至一种掩模与基底六自由度对准装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种掩模与基底六自由度对准装置，含有掩模、掩模支架、弹性簧片、压簧片、压簧预紧、Y手轮、拉簧预紧、基底、基底支架、X手轮、基座、压紧螺钉；掩模支架为圆盘形状，用于承载掩模；弹性簧片具有内环及三个凸起，内环通过螺钉与掩模支架连接，三个凸起通过螺钉与基座凸面连接；压簧片一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端压在基底支架肩面上；压簧预紧与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；Y手轮包括Y1手轮及Y2手轮，与基座支撑面通过螺钉连接并与基底支架相切；拉簧预紧一端与基座支撑面通过螺钉连接，另一端与基底支架通过螺钉连接。本发明结构紧凑，适用于空间狭小的环境，并可完成掩模与基底的六自由度高精度对准。