专利详情

专利名称	一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器
申请号	CN201410614452.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104330890A	公开（授权）日	2015.02.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	方亮;石振东;汪为民;王强;邱传凯;周崇喜;田中群
主分类号	G02B26/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B26/00(2006.01)I
专利有效期	一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器至一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种长腔长微机电可调谐法布里－珀罗滤波器，滤波器的上基板由双面腐蚀后截面呈“W”形的体硅及其下表面的浓硼掺杂层构成，“W”形体硅上表面以透明薄膜作为支撑膜，其上的反射膜作为法布里－珀罗滤波器的前腔镜，“W”形体硅下表面不同区域的浓硼掺杂层可分别作为悬臂梁和上电极。滤波器的下基板由石英玻璃构成，其上表面与前腔镜和上电极对应的区域分别制作有后腔镜和下电极，下表面与后腔镜对应的区域刻有衍射光栅。该微机电滤波器可方便获得200μm以上的初始腔长，能在不同方向上实现单一波长的滤波，具有窄半峰全宽和宽自由光谱范围的优点，在光通讯，光信息读取，激光技术等领域中有广泛的应用前景。