专利详情

专利名称	一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法
申请号	CN201410614079.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104328378A	公开（授权）日	2015.02.04
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	裴文俊;刘洪祥
主分类号	C23C14/26(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/26(2006.01)I;C23C14/18(2006.01)I
专利有效期	一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法至一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜层的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种逆向热蒸发银反射膜加介质保护膜的制备方法，采用的膜层序列为Sub/CrNx/Ag/CrNx/SiOx/Air，制备过程中所有的蒸发源位于镜面上方，逆向热蒸发；承载铬(Cr)材料的主要部件为钨杆，承载银(Ag)材料的主要部件为钨丝环，保护膜材料为一氧化硅(SiO)，装载于钽蒸发舟中；在氮气(N₂)环境中蒸发Cr形成CrNx，在氧气(O₂)环境中蒸发SiO形成SiOx。本发明具有工艺简单、操作方便、设备与材料成本低的优点，能够规避大型光学元件翻面带来的风险。