专利详情

专利名称	高均匀度的紫外LED曝光头
申请号	CN201420651432.4	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204129435U	公开（授权）日	2015.01.28
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	尹韶云;孙秀辉;董燕;周维超;吴鹏;蔡文涛;谭艾英;杜春雷
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	高均匀度的紫外LED曝光头至高均匀度的紫外LED曝光头	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种高均匀度的紫外LED曝光头，包括紫外LED光源模组1、第一蝇眼透镜匀化系统2、第一准直场镜系统3、第二蝇眼透镜匀化系统4和第二准直场镜系统5，所述紫外LED光源模组发出的光束依次经过第一蝇眼透镜匀化系统、第一准直场镜系统、第二蝇眼透镜匀化系统、第二准直场镜系统。本实用新型采用多个紫外LED构成的紫外LED光源模组作为光源，并采用蝇眼透镜匀化系统和准直场镜系统解决了紫外LED光源模组发散角大的问题。由于LED具有效率高、寿命长的特点，因而，解决了现有技术中汞灯曝光机存在的能耗高、易损坏、不安全等问题，具有结构简单、成本低的特点。