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一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法

  • 申请号:CN201410620938.3
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院光电技术研究所
  • 公开(公开)号:CN104315997A
  • 公开(公开)日:2015.01.28
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法
申请号 CN201410620938.3 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN104315997A 公开(授权)日 2015.01.28
申请(专利权)人 中国科学院光电技术研究所 发明(设计)人 徐富超;李云;王安定
主分类号 G01B11/25(2006.01)I IPC主分类号 G01B11/25(2006.01)I
专利有效期 一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法 至一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明公开了一种在平面镜检测中标记检测数据坐标系的装置和方法,装置包括菲索移相干涉仪,平面标准镜,被测平面镜,千分表,千分表支架,大理石平台,转台,六维调整平台,方镜,计算机,标记平面镜。其中标记平面镜的中心位置有十字刻线;方镜左右表面中心有垂直于上表面的刻线,上表面有两个过上表面中心的十字刻线,两十字刻线连线长度已知,方向与长边平行。该装置通过方镜和标记平面镜上刻线标示的使用,将被测平面镜的侧面刻线标示转移到测出的面形图中,实现了测量被测平面镜面形的同时,标定出被测平面镜的中心、侧面刻线标示在面形图上的对应位置和图像的像素分辨率,即确定出了检测数据的坐标系,从而为加工人员根据检测结果度修正被测平面镜面形提供更准确的数据。

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