专利详情

专利名称	一种基于旋转平移绝对检测的干涉仪出射波前检测方法
申请号	CN201410613488.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104315972A	公开（授权）日	2015.01.28
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	苏东奇;苗二龙;曲艺;隋永新;杨怀江
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I
专利有效期	一种基于旋转平移绝对检测的干涉仪出射波前检测方法至一种基于旋转平移绝对检测的干涉仪出射波前检测方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种基于旋转平移绝对检测的干涉仪出射波前检测方法属于光学检测领域，包括如下步骤：定义坐标系；在猫眼位置放置反射镜；使干涉仪图像充满CCD；确定猫眼位置的中心处；面形测量软件测量猫眼位置数据W₀、W₁和W₂；调整反射镜绕着XY轴的倾斜或者角反射镜在XY方向的平移，得倾斜量t_x1和t_y1或者平移量t_rx1和t_ry1，W₀＝W_g-W_g’；W₁＝W_g-W_g’(dx,0)，dx≈t_x1×F_#×PD，dx＝2×t_rx1/PR，W₂＝W_g-W_g’(0,dy)，dy≈t_y1×F_#×PD，dy＝2×t_ry1/PR；利用W₀，W₁，W₂和dx，dy，通过旋转平移剪切绝对检测技术用计算机编制软件计算出透射波前W_g。