一种MEMS检测装置及其制造工艺
- 申请号：CN201310304674.6
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院地质与地球物理研究所
- 公开(公开)号：CN104296784A
- 公开(公开)日：2015.01.21
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种MEMS检测装置及其制造工艺 | ||
| 申请号 | CN201310304674.6 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN104296784A | 公开（授权）日 | 2015.01.21 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院地质与地球物理研究所 | 发明（设计）人 | 于连忠;孙晨 |
| 主分类号 | G01D3/08(2006.01)I | IPC主分类号 | G01D3/08(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种MEMS检测装置及其制造工艺 至一种MEMS检测装置及其制造工艺 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 一种MEMS检测装置，包括：测量体以及与所述测量体相连接的盖板，所述测量体包括框架及设置在所述框架内自由活动的质量块，所述盖板与所述质量块之间设置有过载保护装置，所述过载保护装置包括弹性部及凸点；所述凸点设置在所述弹性部上，所述弹性部设置在所述质量块或所述盖板上，所述凸点限制所述质量块的运动幅度。从而在外部冲击力幅度超出检测装置的限定幅度时，保护质量块，进而保护检测装置。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
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过户资料
平台保障
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