滚动灰度光刻的DMD动作方法
- 申请号：CN201410508288.3
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所
- 公开(公开)号：CN104298077A
- 公开(公开)日：2015.01.21
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 滚动灰度光刻的DMD动作方法 | ||
| 申请号 | CN201410508288.3 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN104298077A | 公开（授权）日 | 2015.01.21 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 | 发明（设计）人 | 许家林;孙强 |
| 主分类号 | G03F7/20(2006.01)I | IPC主分类号 | G03F7/20(2006.01)I |
| 专利有效期 | 滚动灰度光刻的DMD动作方法 至滚动灰度光刻的DMD动作方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及一种用于滚动灰度光刻的DMD动作方法，使用DMD多个微镜对光刻胶的单个像素进行曝光，DMD相对于光刻胶相对运动和曝光动作同时进行。本发明公开了DMD的具体动作的时序，DMD动作的微镜状态编码方法，DMD状态寄存器的存储RAM的更新方法，数据获取方法和大小。本发明的滚动灰度光刻的DMD动作方法使得光刻机能够连续光刻，并且刻蚀的图案是8位灰度图案。 | ||
交易流程
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专利 -
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可交易 - 03 签订合同
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平台保障
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