专利详情

专利名称	丙酮气敏传感器及其制备方法
申请号	CN201410621459.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104297303A	公开（授权）日	2015.01.21
申请（专利权）人	中国科学院重庆绿色智能技术研究院	发明（设计）人	傅剑宇;吴迪;周博天;袁野;严胡勇
主分类号	G01N27/12(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/12(2006.01)I
专利有效期	丙酮气敏传感器及其制备方法至丙酮气敏传感器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供了一种丙酮气敏传感器，包括：底座，底座包括镂空结构；支撑层，一侧与底座的正面复合，且支撑层悬空地架设在镂空结构上；加热电阻，设置在支撑层的另一侧；绝缘层，复合在加热电阻及支撑层的另一侧；两个电极，间隔地设置在绝缘层的远离支撑层一侧的表面上；对丙酮气体敏感的敏感层，设置在绝缘层的外侧，且两个电极分别与敏感层的两侧连接。由于支撑层悬空地架设在镂空结构上，因此构成了不含底座材料的多层膜结构，有效降低了结构热导，加热电阻在低功率的情况下就能使敏感层温度升至工作温度，从而进一步降低了丙酮气敏传感器功耗，使器件具有高集成度、低功耗的特点。