专利详情

专利名称	激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法
申请号	CN201410578818.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104294244A	公开（授权）日	2015.01.21
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	李奇松;张龙;张红刚;姜雄伟;居永凤;白正元
主分类号	C23C18/48(2006.01)I	IPC主分类号	C23C18/48(2006.01)I;C23C18/18(2006.01)I;C23C18/20(2006.01)I;C03C17/10(2006.01)I
专利有效期	激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法至激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种激光辅助化学混合镀实现二维表面金属结构的方法，该方法包含以下步骤：①二维结构制作；②激光辅助还原；③清洗；④化学镀；⑤后清洗。本发明可在硬质基底或柔性衬底上制作二维的金属合金结构，制作的铜镍合金理论上同时具备导电和导磁的性质，在电磁屏蔽、微流控芯片、集成电路等微纳器件领域有很高的应用价值。