专利详情

专利名称	四维EUV反射镜装调装置
申请号	CN201420596121.2	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204101796U	公开（授权）日	2015.01.14
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	陈进新;王宇;吴晓斌;谢婉露;王魁波;崔惠绒
主分类号	G02B7/198(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/198(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	四维EUV反射镜装调装置至四维EUV反射镜装调装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种四维EUV反射镜装调装置，包括真空腔体、反射镜片、镜片支撑架、滑动系统、第一调节系统和第二调节系统，反射镜片位于真空腔体内，镜片支撑架安装反射镜片，滑动系统包括滑动通道和滑动体，滑动体置于滑动通道上并能够在滑动通道上滑动；镜片支撑架的底部开有球窝，以使镜片支撑架通过球窝与滑动体的配合装配在该滑动系统上；第一调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶镜片支撑架，以使该镜片支撑架绕穿过滑动体的中心的两两之间相互垂直的三条轴线转动；第二调节系统从真空腔体外伸入真空腔体内，并抵顶滑动体，使滑动体沿着滑动通道滑动。本实用新型能够实现反射镜片和镜片支撑架的一维平动和三维转动的调节。