专利详情

专利名称	一种等离子体多波长杂质光谱监测装置
申请号	CN201420496603.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204085695U	公开（授权）日	2015.01.07
申请（专利权）人	中国科学院等离子体物理研究所	发明（设计）人	符佳;李颖颖;吕波
主分类号	G01J3/28(2006.01)I	IPC主分类号	G01J3/28(2006.01)I
专利有效期	一种等离子体多波长杂质光谱监测装置至一种等离子体多波长杂质光谱监测装置	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种等离子体多波长杂质光谱监测装置。由集光镜头，多波长分光器，采集系统，光谱仪构成。本实用新型利用体布拉格光栅的衍射特点，仅使用单束光纤即可同时满足多条杂质谱线的监测需求，剩余的光能量由光谱仪做进一步的宽谱段谱线分析。同时，光谱仪为体布拉格光栅的装配提供参考。由体布拉格光栅分离出来的单波长杂质线谱采用光电探测器实现快时间响应的谱线强度监测；由光谱仪实现慢时间响应的宽波段杂质谱线监测，可很好的满足等离子体杂质谱线研究的不同需求。