专利详情

专利名称	一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法
申请号	CN201410499948.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104267581A	公开（授权）日	2015.01.07
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	刘志祥;邢廷文
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G06F17/50(2006.01)I
专利有效期	一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法至一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种光学系统气压分段补偿像差的划分方法，将光学系统中各像差偏离量与气压调整量之间的非线性关系用线性化的像差灵敏度代替，分析各像差对各内部气体间隔气压变化的灵敏度特性，进行内部气体密封段初步划分，列出所有可能的划分方式的排列组合。改变外部大气压一定量，计算各像差的偏离量，然后依次选择各密封段划分组合，计算各密封段的灵敏度矩阵，通过阻尼最小二乘法计算补偿像差偏离量时各内部气体密封段的气压调整量，并将气压调整量和外部气压变化量代回原光学系统，计算补偿后的系统残余像差，确认气压分段调整的补偿效果。通过所有组合的残差进行比较，同时考虑光学系统内部进行分段密封时空间布局和机械结构的可行性，确定最优组合作为气压分段补偿的最终分段方法。