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一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆及生长方法

  • 申请号:CN201410454162.2
  • 专利类型:发明专利
  • 申请(专利权)人:中国科学院理化技术研究所
  • 公开(公开)号:CN104264225A
  • 公开(公开)日:2015.01.07
  • 法律状态:实质审查的生效
  • 出售价格: 面议
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专利详情

专利名称 一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆及生长方法
申请号 CN201410454162.2 专利类型 发明专利
公开(公告)号 CN104264225A 公开(授权)日 2015.01.07
申请(专利权)人 中国科学院理化技术研究所 发明(设计)人 涂衡;胡章贵;赵营;岳银超
主分类号 C30B29/22(2006.01)I IPC主分类号 C30B29/22(2006.01)I;C30B15/32(2006.01)I
专利有效期 一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆及生长方法 至一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆及生长方法 法律状态 实质审查的生效
说明书摘要 本发明涉及晶体生长技术领域,尤其涉及一种用于大尺寸LBO晶体生长的籽晶杆,该籽晶杆包括柔性段,在所述柔性段上端与所述柔性段相连的刚性段,以及所述柔性段下端的籽晶夹头。本发明还提供了一种大尺寸LBO晶体的生长方法,采用本发明提供的籽晶杆固定籽晶进行晶体的生长。本发明提供的籽晶杆结构简单、制造简便、成本较低;本发明提供的生长方法可以在晶体生长结束后,有效避免籽晶折断而造成晶体脱落,有利于提高晶体生长成功率。

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