专利详情

专利名称	多功能模块化强流电子注分析系统
申请号	CN201410383816.7	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104237672A	公开（授权）日	2014.12.24
申请（专利权）人	中国科学院电子学研究所	发明（设计）人	阮存军;李庆生;李崇山;吴迅雷;龙志翘
主分类号	G01R31/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01R31/00(2006.01)I;G01T1/29(2006.01)I
专利有效期	多功能模块化强流电子注分析系统至多功能模块化强流电子注分析系统	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种强流电子注分析系统，包括在水平方向上安置的基座模块(B)，以及在该基座模块(B)上沿着水平方向依次安置多个功能模块，各功能模块共轴且具有统一的接口部件，所述基座模块(B)包括光学导轨(B1)和置于光学导轨(B1)上的刀架支撑支架(B2)，各个所述功能模块借助所述刀架支撑支架(B2)安置在所述光学导轨(B1)上。所述功能模块包括电子枪装配模块(G)、电子注传输过程模拟测量模块(F)、电子注能谱测量模块(E)和电子注截面测量模块(M)。本发明在方便地更换功能模块的同时，无需重新调节各模块的安装位置来保持对中，极大地提高了强流电子注分析的功能性和便利性。