专利详情

专利名称	用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法
申请号	CN201410345343.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104226637A	公开（授权）日	2014.12.24
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	卢启鹏;宋源;彭忠琦;龚学鹏;王依
主分类号	B08B7/00(2006.01)I	IPC主分类号	B08B7/00(2006.01)I
专利有效期	用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法至用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置与清洗方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种用于清洗受污染光学元件的氢原子收集装置，属于清洗光学元件表面污染的技术领域。解决现有的氢原子收集方法收集率低的问题。该装置包括：氢原子发生器、石英椭球镜收集腔、加热带和样品夹，所述的氢原子发生器与石英椭球镜收集腔的一端连接，且氢原子发生器的出气口设置于石英椭球镜收集腔的一个焦点处，样品夹设置在样品夹支架上，样品夹支架与石英椭球镜收集腔的另一端连接，且样品夹中心位置设置于石英椭球镜收集腔的另外一个焦点处，所述的加热带设置在石英椭球镜收集腔的外表面。本发明还提供基于上述装置清洗受污染光学元件的方法，该方法氢原子收集效率高、清洗速率快。