专利详情

专利名称	物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法
申请号	CN201410456915.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104236856A	公开（授权）日	2014.12.24
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	卢云君;唐锋;王向朝
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法至物镜成像系统的波像差检测装置及其系统误差校正方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种物镜成像系统的波像差检测装置，包含：光源、沿该光源发出光方向依次放置的准直镜、分光镜、聚焦镜和标准球面反射镜，以及数据处理单元、与该数据处理单元分别连接的波前传感器、第一精密调整台和第二精密调整台；在本发明中，测量过程和系统误差标定过程的切换是通过改变标准球面反射镜5的位置来实现，由于两次测量过程中，标准球面反射镜5具有相同的调节精度，因此可以有效的完成装置系统误差的标定测量并加以校正，提高了波像差测量精度。本发明不需要高精度的标准光源，降低了成本，且装置的系统误差标定方法简单、结构紧凑，具有简单易于实现等优点，能够以简单的系统完成待测物镜成像系统的波像差检测。