专利详情

专利名称	一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜
申请号	CN201410543114.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104238092A	公开（授权）日	2014.12.24
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	刘俊伯;程依光;赵立新;胡松
主分类号	G02B13/22(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/22(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜至一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于桌面STEPPER光刻机的投影物镜，其采用了双远心、14片结构，工作波长为i线(365nm)。该物镜光学共轭总长(物方到像方)L＝500mm，物方、像方工作距均为60mm。物方有效视场为75mm×75mm，物方数值孔径NA＝0.055。经过面型优化和机械结构微调后，该光刻投影物镜像方分辨力能达到<5mm。该光刻机的投影物镜的数值孔径较高，可以有效提高光刻分辨力；该光刻机的投影物镜的总片数较少，且未采用非球面，可以在有效平衡像差的同时，降低加工装配的难度；该光刻机的投影物镜的光学共轭距较短，可以很好地集成入小型化光刻设备之中。