专利详情

专利名称	一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法
申请号	CN201410479889.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104233212A	公开（授权）日	2014.12.24
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	柳存定;李斌成;孔明东
主分类号	C23C14/54(2006.01)I	IPC主分类号	C23C14/54(2006.01)I;G01B11/06(2006.01)I
专利有效期	一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法至一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种行星转动镀膜机上薄膜厚度直接光控的安装方法，通过研究行星转动夹具上镀膜元件的运动规律，设计专用圆环形直接光控测试片和镀膜夹具；在镀膜机中优化光源和光收集聚焦透镜的位置，并通过控制背景噪声、光强度以及信号测量位置，获得随薄膜厚度变化的光学信号，并据此计算实际沉积的膜层厚度。本发明可以实现镀膜机行星转动夹具上平面或者球面镜片上薄膜厚度的直接光学控制，提高行星转动镀膜机薄膜厚度控制的准确度以及复杂膜系的镀膜效率。