专利详情

专利名称	一种45度平面镜的面形检测装置
申请号	CN201420481780.1	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN204027527U	公开（授权）日	2014.12.17
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	李永;唐锋;王向朝;李杰;吴飞斌
主分类号	G01B11/24(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/24(2006.01)I
专利有效期	一种45度平面镜的面形检测装置至一种45度平面镜的面形检测装置	法律状态
说明书摘要	一种45度平面镜的面形检测装置，包括：斐索干涉仪、第一标准镜、第二标准镜、45度平面镜、拼接位移台、二维调整架、倾斜二维调整架。本实用新型在被测45度平面镜上方加入反射镜，使光原路返回，对45度平面镜进行子孔径拼接干涉测量，采用变权重法对子孔径面形数据进行拼接，得到全口径面形。本实用新型具有：1，操作简易，45度平面镜镜面不易变形，测量精度高；2，子孔径面形数据采用变权重数据融合拼接，精度高；3，通过改变第一标准镜和第二标准镜的反射率，既可以测量未镀膜面，也可以测量高反面，均有较高的干涉对比度的优点。