专利详情

专利名称	一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置
申请号	CN201410427122.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104216089A	公开（授权）日	2014.12.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张德福;李显凌;孙振;倪明阳;隋永新;杨怀江
主分类号	G02B7/02(2006.01)I	IPC主分类号	G02B7/02(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置至一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种具有自重补偿功能的光刻投影物镜中透镜支撑装置属于光刻投影物镜制造领域，目的在于解决现有技术存在的引入三叶像差和不对称像差的问题。本发明包括内镜框、外镜框和连接螺钉；所述内镜框上圆周均布多个圆柱形线性导向机构，每个圆柱形线性导向机构上设置有柔性支撑结构，多个柔性支撑结构的支撑面在同一水平面上；透镜下表面通光孔径外的支撑面分别与多个柔性支撑结构胶结固定，所述内镜框和所述外镜框通过连接螺钉固定，所述内镜框和外镜框同轴。本发明的内镜框和外镜框都可以由圆柱形钢料加工，结构紧凑，集成误差小；最后，采用多个圆柱形线性导向机构并联，保证了透镜支撑高度一致性，得到满足光刻投影物镜使用要求的高精度支撑面形。