专利详情

专利名称	一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置
申请号	CN201410427113.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104216237A	公开（授权）日	2014.12.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	张德福;李显凌;赵磊;郭抗;隋永新;杨怀江
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G02B7/02(2006.01)I
专利有效期	一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置至一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种解耦的光刻投影物镜中透镜偏心调节装置属于光刻投影制造技术领域，目的在于解决现有技术存在的耦合非线性误差、成本高和调节困难的问题。本发明包括镜框、传感器和驱动器；镜框包括外镜框、内镜框、支撑座、导向孔、连接螺纹孔、柔性导向机构和柔性连接机构；镜框整体为圆环结构，内镜框底部固定有支撑座，内镜框和外镜框间隙配合，内镜框和外镜框通过圆周均布的n组柔性连接机构连接，圆周方向上，相邻两个柔性连接机构之间设置有一组柔性导向机构，外镜框与柔性导向机构相对应位置设置有径向的导向孔，关于圆心对称的两个导向孔分别设置有一个驱动器和一个传感器。本发明柔性板簧单元一体式结构，成本低，降低了正交方向的耦合非线性误差。