专利详情

专利名称	摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法
申请号	CN201410528758.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104215186A	公开（授权）日	2014.12.17
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	陈林;曹学东;景洪伟;匡龙;杨杰;高明星
主分类号	G01B11/03(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/03(2006.01)I
专利有效期	摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法至摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种摆臂式轮廓仪测头系统空间位置坐标关系的测量装置和方法，该装置摆臂式轮廓仪测头系统包括接触式传感器夹具、接触式传感器、第一靶球和第二靶球，多功能测量显微镜包括多功能测量显微镜立柱头、多功能测量显微镜立柱和多功能测量显微镜工作台面。通过控制多功能测量显微镜工作台面实现X、Y方向的移动，控制多功能测量显微镜立柱头实现Z方向的移动，分别使第一靶球、第二靶球和接触式传感器测头通过点源显微镜CCD成像并且在计算机窗口上显示对应光斑最小，此时多功能测量显微镜的坐标即是第一靶球的球心、第二靶球的球心和接触式传感器的测头的球心对应测量的空间位置坐标。本发明精度较高，同时可以方便快捷的实现。