专利详情

专利名称	一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺
申请号	CN201310221840.6	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104215231A	公开（授权）日	2014.12.17
申请（专利权）人	中国科学院地质与地球物理研究所	发明（设计）人	于连忠;张忠山;孙晨
主分类号	G01C19/5656(2012.01)I	IPC主分类号	G01C19/5656(2012.01)I;G01C19/5663(2012.01)I
专利有效期	一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺至一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪及其制造工艺	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种MEMS高精度谐振梁闭环控制陀螺仪，包括：测量体、上盖板及下盖板，所述测量体包括基座、耦合框、与耦合框相连接的质量块以及位于所述质量块中心的固定块；所述基座以及所述固定块与所述上盖板及所述下盖板相固定连接；所述质量块与所述耦合框通过多个弹性梁相连接；所述质量块与所述固定块之间设置有第一梳状耦合结构；所述耦合框的一侧设置有支撑梁；所述耦合框通过所述支撑梁与所述基座相连接；所述耦合框的侧壁的上部及下部分别设置有谐振梁，所述谐振梁一端与所述耦合框相连接，另一端分别与基座相连接；所述谐振梁与所述基座之间还设置有第二梳状耦合结构；所述谐振梁以及所述第二梳状耦合结构用于检测转动角速度。