专利详情

专利名称	高精度光学间隔测量装置和测量方法
申请号	CN201410472652.5	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104215176A	公开（授权）日	2014.12.17
申请（专利权）人	中国科学院上海光学精密机械研究所	发明（设计）人	杨宝喜;魏张帆;胡小邦;李璟;陈明;朱菁;薛佩佩;黄惠杰
主分类号	G01B11/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01B11/00(2006.01)I
专利有效期	高精度光学间隔测量装置和测量方法至高精度光学间隔测量装置和测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种高精度光学间隔测量装置和测量方法，装置包括：短相干光源、激光测长光源、照明指示用光源、第一光纤耦合器、第二光纤耦合器、测量光路、参考镜光路、延迟扫描光路、波分复用器、第一光电探测器、第二光电探测器、连接光纤、环境传感器。本发明采用时域光学相干层析技术，利用宽带光源及高精度延迟扫描光路实现光学元件间隔的非接触测量，通过共光路激光测长技术获取延迟光路的精确位移，采用五步相移干涉条纹包络的提取算法以及通过环境补偿，消除测量误差，提高测量精度，在测量范围内间隔测量精度可达到亚微米级，同时在光学仪器装调过程中可以实现实时测量，提高测量效率。