专利详情

专利名称	一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛
申请号	CN201410478006.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104199135A	公开（授权）日	2014.12.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	严伟;何渝;李艳丽;唐燕;赵立新;胡松
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛至一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种用于激光直写的长焦深扇形分区光子筛。该光子筛结构包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布按公式r_mn²＝2nf_mnλ+n²λ²，其中r_mn为环带半径；n为圆孔所在环带的环数；f_mn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；λ为波长。对应r_mn上的透光孔的直径为其中w_mn为环带宽度；λ为波长；f_mn为第m号扇区内第n环所对应的焦距；r_mn为环带半径。本发明突破原有固定焦点设计的思想，针对于在不影响分辨力的情况下，采用光子筛扇形分区设计，实现多焦点部分重叠，有效增大焦深，为光子筛直写光刻的实用化奠定基础。