专利详情

专利名称	一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法
申请号	CN201410374370.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104198159A	公开（授权）日	2014.12.10
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	巩岩;李晶
主分类号	G01M11/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法至一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种大数值孔径物镜波像差检测装置及方法，属于光学检测领域，为了克服大数值孔径物镜波前检测中需要大数值孔径高精度准直镜的困难，同时提高光能利用率和检测精度，多模光纤位于照明显微物镜的物面上，散射器放置在照明显微物镜像平面上，激光光源依次经过多模光纤、照明显微物镜和散射器产生理想球面波；将待测大数值孔径物镜的物像面颠倒放置，沿光轴放置在距散射器像方工作距处，准直镜沿光轴放置，其前焦面与大数值孔径物镜物的工作物平面重合；微透镜阵列位置与大数值孔径物镜的出瞳相对准直镜共轭，光强传感器放置在微透镜阵列焦平面处；在标定系统误差时，将空间滤波器放置在准直镜的前焦面处。