专利详情

专利名称	相变存储器及其制备方法
申请号	CN201410504612.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104201282A	公开（授权）日	2014.12.10
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	王玉婵;陈小刚;陈一峰;王月青;宋志棠;刘波
主分类号	H01L45/00(2006.01)I	IPC主分类号	H01L45/00(2006.01)I;H01L27/24(2006.01)I
专利有效期	相变存储器及其制备方法至相变存储器及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种相变存储器及其制备方法，其中，所述相变存储器至少包括：下电极，所述下电极呈阵列式排布；位于所述下电极上的下加热电极；位于多个下加热电极上的相变材料层，所述相变材料层呈条状等间距排布；位于所述下加热电极上方位置的相变材料层上的上电极，所述上电极呈条状等间距排布，且与所述相变材料层相互垂直。本发明的相变存储器通过将整条的相变材料覆盖在多个下加热电极上，从而将各个分立的相变存储单元连接在一起，可以通过控制信号输入完成块擦除，解决了现有相变存储器不能完成块操作的缺陷；同时也可以通过控制信号端和电极进行选择性单元数据擦除，大大提高了数据擦除效率。