专利详情

专利名称	一种长焦深光子筛
申请号	CN201410479804.4	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104199136A	公开（授权）日	2014.12.10
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	严伟;何渝;李艳丽;唐燕;高洪涛;胡松
主分类号	G02B5/18(2006.01)I	IPC主分类号	G02B5/18(2006.01)I
专利有效期	一种长焦深光子筛至一种长焦深光子筛	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种长焦深光子筛，实现光子筛较长焦深的方法。该光子筛包括透光衬底和镀在该透光衬底上的不透光金属薄膜，所述不透光金属薄膜上分布有多个透光圆孔，该透光圆孔呈环带状分布，分布原则为r_n²＝2nf_nλ+n²λ²，其中r_n为环带半径，n为圆孔所在环带的环数，最内环为第一环，n∈{1，2，…，Max}，Max为最大环带数；f_n为第n环所对应的焦距；λ为波长。其中对应r_n上的透光孔的直径为其中d_n为透光孔的直径；w_n为环带宽度；λ为波长；f_n为第n环所对应的焦距；r_n为环带半径。本发明突破原有固定焦点设计的思想，在不影响分辨力的情况下，采用光子筛环形分区设计，实现多焦点部分重叠，有效增大焦深，为光子筛直写光刻的实用化奠定基础。