专利详情

专利名称	一种光学系统波像差检测装置
申请号	CN201410454177.9	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104181779A	公开（授权）日	2014.12.03
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	吕保斌;邢延文;林妩媚;刘志祥
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G01M11/02(2006.01)I
专利有效期	一种光学系统波像差检测装置至一种光学系统波像差检测装置	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种光学系统波像差检测装置，该光学系统波像差检测装置中照明模块将光源发出的光线均匀投射至光学系统物面上。针孔阵列位于光学系统的物面位置，具有空间扩展和空间分割的作用。剪切光栅安装在光学系统的像面位置。通过精动台带动剪切光栅进行横向移动，实现相移功能。利用准直光学镜组，将携带光学系统波像差信息的同心球面波剪切转换为平面波剪切。利用探测器记录相移过程中的剪切干涉图光场信息。本发明使用针孔阵列提高了检测系统光能；利用光栅实现剪切干涉。通过光栅横向移动进行相移；利用准直光学镜组将球面干涉转换为平面干涉，消除了平面探测器接收球面干涉的误差；实现了光学系统波像差的高精度检测。