专利详情

专利名称	一种调焦调平传感器测量装置
申请号	CN201410374962.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104181777A	公开（授权）日	2014.12.03
申请（专利权）人	中国科学院微电子研究所	发明（设计）人	宗明成;李世光;王丹;魏志国;武志鹏;孙裕文
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I;G03F9/00(2006.01)I;G01B11/02(2006.01)I
专利有效期	一种调焦调平传感器测量装置至一种调焦调平传感器测量装置	法律状态	授权
说明书摘要	本发明公开了一种调焦调平传感器测量装置，涉及测量技术领域，用于测量带有工艺的硅片的高度形貌，该装置包括可调谐光源、测试光栅、第一成像系统、第二成像系统、参考光栅、探测器、工件台和计算机。该装置能够对于待测硅片上涂覆某种光刻胶或者具有某种结构时，自动计算测量高度对所述光刻胶或结构不敏感的光源光谱，相应调整光源的频率和带宽，以及探测器的响应范围，使调焦调平传感器的高度测量工艺相关性最小。在光刻曝光时，工件台将根据硅片形貌实时调节它的高度和倾斜，保证曝光区域保持在光刻机的对焦范围内，达到调焦调平的目的。