专利详情

专利名称	一种光学系统像差补偿装置与方法
申请号	CN201410473404.2	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104181780A	公开（授权）日	2014.12.03
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	刘志祥;邢延文;吕保斌;徐富超
主分类号	G03F7/20(2006.01)I	IPC主分类号	G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种光学系统像差补偿装置与方法至一种光学系统像差补偿装置与方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种光学系统像差补偿装置与方法，光源发出的光线均匀照明在投影物镜物面上，散射板和针孔安装在掩模台上，针孔位于投影物镜的物面，波像差传感器位于投影物镜像面，安装在硅片台上，同时投影物镜内部氮气进行分段密封，在每个密封段上安装有进气口流量控制器、出气口流量控制器、高精度气压计。本发明使用投影物镜内部分段控制的氮气气压作为补偿变量，当物镜像差发生变化时，采用算法计算各段气压的调整量，并通过计算机调节氮气流量，精确控制各密封段内的气压实现了投影物镜像差的动态补偿。