一种多通道型金属钯复合膜的循环化学镀方法
- 申请号:CN201310196615.1
- 专利类型:发明专利
- 申请(专利权)人:中国科学院大连化学物理研究所
- 公开(公开)号:CN104178754A
- 公开(公开)日:2014.12.03
- 法律状态:实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 一种多通道型金属钯复合膜的循环化学镀方法 | ||
| 申请号 | CN201310196615.1 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开(公告)号 | CN104178754A | 公开(授权)日 | 2014.12.03 |
| 申请(专利权)人 | 中国科学院大连化学物理研究所 | 发明(设计)人 | 徐恒泳;唐春华;刘宴;邵炜 |
| 主分类号 | C23C18/42(2006.01)I | IPC主分类号 | C23C18/42(2006.01)I;B01D71/02(2006.01)I;B01D69/12(2006.01)I;B01D67/00(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种多通道型金属钯复合膜的循环化学镀方法 至一种多通道型金属钯复合膜的循环化学镀方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及一种多通道型金属钯复合膜的循环化学镀方法。先将活化敏化后的多孔陶瓷载体装入镀钯模具,并将模具两端连接硅胶管置于恒温水浴中,然后采用恒流蠕动泵将镀液输送到载体通道内,最后采用循环化学镀形成高透氢选择性金属钯复合膜。本发明操作简单,易于控制,能有效地实现钯膜的均匀生长,增强钯膜的致密性和附着力,适于大规模工业生产。 | ||
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