专利详情

专利名称	一种大数值孔径浸没式投影物镜
申请号	CN201410330973.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104111515A	公开（授权）日	2014.10.22
申请（专利权）人	中国科学院光电技术研究所	发明（设计）人	白瑜;邢廷文;林妩媚;朱红伟;吕保斌;廖志远;邓超
主分类号	G02B13/00(2006.01)I	IPC主分类号	G02B13/00(2006.01)I;G02B13/18(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种大数值孔径浸没式投影物镜至一种大数值孔径浸没式投影物镜	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提出了一种大数值孔径浸没式投影物镜，用于将物平面的图像成像到像平面内。该大数值孔径浸没式投影物镜，沿其光轴方向包括两个同轴放置的非球面反射镜和六个透射组。从光束入射方向依次排布透射组G1具有正焦距，透射组G2具有正焦距，透射组G3具有正焦距，反射组具有负光焦度，透射组G4具有负焦距，透射组G5具有正焦距，透射组G6具有正焦距，本发明的大数值孔径浸没式投影物镜可将物平面的图像缩小0.25倍成像到像平面内，该投影物镜具有数值孔径大、成像质量好、结构紧凑、容易加工装调等优点。