专利详情

专利名称	补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法
申请号	CN201410260851.X	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104048596A	公开（授权）日	2014.09.17
申请（专利权）人	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	发明（设计）人	何欣;田富湘;谭进国
主分类号	G01B9/02(2006.01)I	IPC主分类号	G01B9/02(2006.01)I;G02B27/00(2006.01)I
专利有效期	补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法至补偿器及补偿器与干涉仪共轴的调节方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种补偿器及一种补偿器与干涉仪共轴的调节方法，属于光学技术领域。解决了现有技术中补偿器与干涉仪共轴的调节方法精度低、效率低的技术问题。本发明的补偿器，包括从前向后沿同一光轴依次设置的补偿镜和场镜，还包括光学基准平面镜，光学基准平面镜不遮挡补偿镜的通光口径，且光学基准平面镜的法向与补偿镜的光轴的夹角小于等于3秒，光学基准平面镜的反射面在前。本发明的补偿器能够用于非球面检测，提高补偿器与干涉仪的共轴精度，从而提高非球面的检测及加工精度。