专利详情

专利名称	一种对石墨烯进行硫掺杂的方法
申请号	CN201310080785.3	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN104047060A	公开（授权）日	2014.09.17
申请（专利权）人	中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	梁晨;李铁;王跃林
主分类号	C30B31/08(2006.01)I	IPC主分类号	C30B31/08(2006.01)I
专利有效期	一种对石墨烯进行硫掺杂的方法至一种对石墨烯进行硫掺杂的方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种对石墨烯进行硫掺杂的方法，包括步骤：1）提供石墨烯，将所述石墨烯置于化学气相沉积反应腔中；2）采用惰性气体对所述反应腔进行通气及排气处理；3）于500~1050℃下通入硫源气体对所述石墨烯进行硫掺杂；4）于氢气及惰性气体气氛中对所述反应腔进行降温。本发明可以简单高效的对石墨烯进行硫掺杂，经济成本低，可大规模生产；可以实现对石墨烯进行大面积的硫掺杂；可直接对绝缘衬底或金属衬底上的石墨烯进行掺杂，便于制作硫掺杂石墨烯器件；制备过程中，可以通过调节硫源气体流量控制硫掺杂浓度，从而实现对石墨烯进行可控掺杂。