专利详情

专利名称	一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法
申请号	CN201210587490.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103896287A	公开（授权）日	2014.07.02
申请（专利权）人	上海新安纳电子科技有限公司;中国科学院上海微系统与信息技术研究所	发明（设计）人	梁晨亮;王良咏;刘卫丽;宋志棠
主分类号	C01B33/14(2006.01)I	IPC主分类号	C01B33/14(2006.01)I
专利有效期	一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法至一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及CMP技术抛光领域，特别是涉及一种非球形二氧化硅溶胶及其制备方法。本发明提供一种非球形二氧化硅溶胶，包括液体介质和溶胶颗粒，所述溶胶颗粒由2~10个二氧化硅胶体粒子聚集而成。本产品的有益效果是：通过二价金属离子的诱导作用，形成非球形的二氧化硅晶种。在该晶种表面包覆一层聚苯乙烯薄层（由苯乙烯聚合而成）。由于晶种是非球形的，表面的曲率各处不同，有正有负。在具有负曲率（即凹陷处）的地方表面张力大，聚苯乙烯不易包覆，故留下了空洞，露出二氧化硅。持续添加的硅酸会优先附着在这些露出二氧化硅的表面，并进行脱水聚合，最终形成2-10个小颗粒聚集成的大颗粒状二氧化硅胶体粒子。