一种极紫外脉冲发生调制器
- 申请号：CN201410109608.8
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院空间科学与应用研究中心
- 公开(公开)号：CN103871832A
- 公开(公开)日：2014.06.18
- 法律状态：实质审查的生效
- 出售价格： 面议 立即咨询
专利详情
| 专利名称 | 一种极紫外脉冲发生调制器 | ||
| 申请号 | CN201410109608.8 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103871832A | 公开（授权）日 | 2014.06.18 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院空间科学与应用研究中心 | 发明（设计）人 | 李保权 |
| 主分类号 | H01J61/04(2006.01)I | IPC主分类号 | H01J61/04(2006.01)I |
| 专利有效期 | 一种极紫外脉冲发生调制器 至一种极紫外脉冲发生调制器 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本发明涉及一种极紫外脉冲发生调制器，包括：电子源、调控栅极、聚焦电极和阳极靶；其中，电子源产生电子，调控栅极对电子源所产生电子的强度进行调控，形成电子脉冲；聚焦电极所形成的电场将电子脉冲聚焦；所述阳极靶加速电子脉冲，所述电子脉冲最终轰击阳极靶，生成极紫外脉冲射线；所述极紫外脉冲射线的波长范围在10nm-200nm。 | ||
交易流程
-
01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
-
05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
1、源头对接，价格透明
2、平台验证，实名审核
3、合同监控，代办手续
4、专员跟进，交易保障
- 用户留言
暂时还没有用户留言