专利详情

专利名称	用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池
申请号	CN201410090715.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103868853A	公开（授权）日	2014.06.18
申请（专利权）人	中国科学院电工研究所	发明（设计）人	张国强;林涛;邱宗甲
主分类号	G01N21/01(2006.01)I	IPC主分类号	G01N21/01(2006.01)I;G01N21/3504(2014.01)I
专利有效期	用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池至用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	一种用于六氟化硫气体分解过程实时监测的径向共振光声池；主要包括共振腔、前端缓冲腔、后端缓冲腔、入射窗片、出射窗片、进气口、出气口、高灵敏度传声器、高压电极，以及接地电极。入射窗片和出射窗片分别在前端和后端缓冲腔上；两个缓冲腔分别在共振腔的两侧，依共振腔几何中心对称。两个缓冲腔的侧面分别有进气口和出气口。共振腔的轴向中心一端固定有高灵敏度传声器；共振腔几何中心的径向端有高压电极和接地电极，可以产生放电使SF₆气体发生分解。本发明可实时定量检测HF、SF₅、SF₄、SF₂、SOF₄、SO₂F₂、SOF₂、SO₂、CF₄、CO₂、H₂O等多种气体，而且特别适于化学性质不稳定的SF₆分解物实时定量测量分析。