专利详情

专利名称	一种金属纳米结构的制备方法
申请号	CN201210539491.8	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103863999A	公开（授权）日	2014.06.18
申请（专利权）人	中国科学院物理研究所	发明（设计）人	李俊杰;孙旺宁;顾长志;金爱子;夏晓翔;杨海方;全宝刚;李无暇
主分类号	B81B1/00(2006.01)I	IPC主分类号	B81B1/00(2006.01)I;B81C1/00(2006.01)I
专利有效期	一种金属纳米结构的制备方法至一种金属纳米结构的制备方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明提供一种金属纳米结构的制备方法，包括：在衬底上形成第一光刻胶层，并利用纳米压印法在所述第一光刻胶层中形成纳米结构，其中所述第一光刻胶层具有第一玻璃化温度；在所述具有纳米图案的第一光刻胶层上沉积金属材料层；在转移衬底上形成第二光刻胶层，所述第二光刻胶层具有高于第一玻璃化温度的第二玻璃化温度；将所述转移衬底上的所述第二光刻胶层与所述金属材料层粘结，并使所述第二光刻胶层固化；加热到所述第一玻璃化温度与所述第二玻璃化温度之间的温度，使所述第一光刻胶层进入粘流态，同时所述第二光刻胶层处于玻璃态；将所述金属材料层与所述第一光刻胶层机械分离，在金属材料层表面得到纳米结构。