专利详情

专利名称	一种碎屑收集装置和包含该收集装置的EUV光源系统
申请号	CN201320689196.0	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203645903U	公开（授权）日	2014.06.11
申请（专利权）人	中国科学院光电研究院	发明（设计）人	王魁波;吴晓斌;王宇;陈进新;张罗莎;罗艳;谢婉露
主分类号	H05G2/00(2006.01)I	IPC主分类号	H05G2/00(2006.01)I;G03F7/20(2006.01)I
专利有效期	一种碎屑收集装置和包含该收集装置的EUV光源系统至一种碎屑收集装置和包含该收集装置的EUV光源系统	法律状态	著录事项变更
说明书摘要	本实用新型公开了一种使用电场的碎屑收集装置和相应的EUV光源系统。本实用新型在所述碎屑的传播路径上依次设置能够主动使不带电的碎屑带电的加电装置和偏转电场，所述偏转电场能够使带电的碎屑的运动方向发生偏转后被收集。本实用新型的实施例中的EUV光源系统包括EUV辐照产生装置、光收集系统和碎屑收集装置，该EUV辐照装置用于产生EUV光，同时产生碎屑；该碎屑产生装置置于所述EUV辐照产生装置和光收集系统之间。本实用新型能够有效地降低碎屑对真空系统和元器件的污染，且不影响EUV光的继续传播。