鳍结构制造方法
- 申请号：CN201210505760.9
- 专利类型：发明专利
- 申请（专利权）人：中国科学院微电子研究所
- 公开(公开)号：CN103855009A
- 公开(公开)日：2014.06.11
- 法律状态：实质审查的生效
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专利详情
| 专利名称 | 鳍结构制造方法 | ||
| 申请号 | CN201210505760.9 | 专利类型 | 发明专利 |
| 公开（公告）号 | CN103855009A | 公开（授权）日 | 2014.06.11 |
| 申请（专利权）人 | 中国科学院微电子研究所 | 发明（设计）人 | 朱慧珑;罗军;李春龙 |
| 主分类号 | H01L21/336(2006.01)I | IPC主分类号 | H01L21/336(2006.01)I;H01L21/02(2006.01)I |
| 专利有效期 | 鳍结构制造方法 至鳍结构制造方法 | 法律状态 | 实质审查的生效 |
| 说明书摘要 | 本申请公开了一种鳍结构制造方法。一示例方法可以包括：在衬底上形成构图的图案转移层；在图案转移层的侧壁上形成第一侧墙；在第一侧墙的侧壁上形成第二侧墙；选择性去除图案转移层和第一侧墙；以及以第二侧墙为掩模，对衬底进行构图，以形成初始鳍。 | ||
交易流程
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01
选取所需
专利 -
02
确认专利
可交易 - 03 签订合同
- 04 上报材料
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05
确认变更
成功 - 06 支付尾款
- 07 交付证书
过户资料
平台保障
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2、平台验证，实名审核
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