专利详情

专利名称	平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法
申请号	CN201410020839.1	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103852248A	公开（授权）日	2014.06.11
申请（专利权）人	中国科学院上海技术物理研究所	发明（设计）人	孙晓杰;华建文;王战虎;陈仁;樊庆;李涛;夏翔;盛灏
主分类号	G01M13/00(2006.01)I	IPC主分类号	G01M13/00(2006.01)I
专利有效期	平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法至平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明公开了一种平面镜干涉仪中动镜支撑机构扭转刚度的测量方法。把U型电磁铁安置于截面端平行于动镜支撑机构的位置,调节电磁铁的截面与支撑机构的气隙至0.1～0.2mm之间，测量气隙的值s。对电磁铁通电产生电磁吸力为Fe，电磁力的作用点与动镜扭转中心的距离（电磁力臂）已知为l，由此产生的电磁力转矩为：Me=Fel。动镜支撑机构绕系统质心转过倾角θ。通过激光干涉仪测量倾角θ。回复力产生的转矩为：Mr=kτθ，kτ为扭转刚度。整个系统处于转矩平衡状态：Me=Mr，即Fel=kτθ。计算得kτ=Fel/θ。本系统实现了非接触式测量，保证了测量可靠性。