专利详情

专利名称	一种表面等离子体激元增强针尖及针尖增强方法
申请号	CN201410075679.0	专利类型	发明专利
公开（公告）号	CN103837709A	公开（授权）日	2014.06.04
申请（专利权）人	国家纳米科学中心	发明（设计）人	陈东学;苗俊杰;刘前
主分类号	G01Q60/22(2010.01)I	IPC主分类号	G01Q60/22(2010.01)I;G02B5/00(2006.01)I
专利有效期	一种表面等离子体激元增强针尖及针尖增强方法至一种表面等离子体激元增强针尖及针尖增强方法	法律状态	实质审查的生效
说明书摘要	本发明涉及一种表面等离子体激元增强针尖，所述增强针尖包括：（1）透明衬底：用于光线入射；（2）金属薄膜：设置于透明衬底的一侧，在所述金属薄膜上开有螺旋结构的狭缝；（3）金属针尖：包括金属针尖的尖部和根部，根部连接金属薄膜，且位于螺旋结构的中心。本发明提供的增强针尖的针尖增强效果好，能够实现3个数量级的针尖增强；可实现0.03λ₀的分辨率，增强深度达到50nm；大大提高了信噪比和灵敏度；操作方便简单，易于形成大面积针尖阵列，提高扫描速度。