专利详情

专利名称	基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器
申请号	CN201320712132.8	专利类型	实用新型
公开（公告）号	CN203630077U	公开（授权）日	2014.06.04
申请（专利权）人	广州中国科学院先进技术研究所	发明（设计）人	陈秋兰;唐观荣;邸思;金建;陈贤帅
主分类号	G01N27/06(2006.01)I	IPC主分类号	G01N27/06(2006.01)I
专利有效期	基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器至基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器	法律状态
说明书摘要	本实用新型公开了一种基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器，包含石英基片衬底、Si₃N₄粘附层和铂金属电极，所述Si₃N₄粘附层位于石英基片底衬的上表面，所述铂金属电极位于Si₃N₄粘附层之上；所述铂金属电极包含接触区、电导率感应电极和温度感应电极；所述基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器的正面和背面还各包含一层Si₃N₄保护层，正面Si₃N₄保护层刻蚀出窗口，露出电导率感应电极和温度感应电极。本实用新型基于MEMS技术的接触式四电极盐度传感器器件尺寸小，具有较高的测量范围和稳定性，可直接与海水长久接触而不产生漂移。